瀧研究室ではUV硬化樹脂の硬化収縮をリアルタイムで測定することが可能な
レーザー変位計を開発・導入しました．この装置では，UV硬化時のフィルムの厚さ変化を
リアルタイムで，数十ナノメートルオーダの分解能で測定可能です．測定可能な膜厚は20μm以上です．
主な仕様
レーザー変位計 キーエンス製 LK-H008
高圧水銀ランプ ExFo製 S2000
| 型式 | LK-H008 | |
|---|---|---|
| 設置モード | 正反射 | |
| 基準距離 | 8mm | |
| 測定範囲 | ±0.5mm | |
| 光源 | 赤色半導体レーザ | |
| 波長 | 655nm | |
| レーザクラス | クラス1レーザ製品 | |
| 出力 | 0.3mW | |
| スポット径 | φ20μm | |
| 直線性 | ±0.05% of F.S.（F.S.=1.0mm） | |
| 繰り返し精度 | 0.005μm（0.001μm） | |
| サンプリング周期 | 2.55/5/10/20/50/100/200/500/1000μs
（9段階可変） |
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| 温度特性 | 0.02％ of F.S./℃（F.S.=1.0mm） | |